為您介紹幾種電子氣體的特性
1、砷烷 ( Arsine )：分子式：AsH3 分子量：77.946；熔點：-113.5 沸點：-62.5；氣體密度 (-62.48，101.325X10-3Mpa)：4.930kg/m3；臨界溫度：99.9 臨界壓力：6.6875MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 CH4 N2 O2 CO2 CO C2H6 C3H8 H2O PH3；含量<(ppm) 1 1 1 1 0.5 1 1 0.5 2
2、氯氣( Chlorine )：分子式：Cl2 分子量：70.906；熔點：-100.98 沸點：-34.05；氣體密度 (20，101.325X10-3Mpa)：2.980kg/m3；臨界溫度：144 臨界壓力：7.71MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 N2 O2 CO CO2 H2 OHC H2O Total Metals；含量<(ppm) 1 1 1 1 0.1 0.5 1 0.5
3、二氯硅烷 ( Dichlorosilane )：分子式：SiH2Cl2 分子量：101.010；熔點：-122.0 沸點：8.2；氣體密度 (25，101.325X10-3Mpa)：4.168kg/m3；臨界溫度：176 臨界壓力：4.676MPa；純度：99.9%；包裝：鋼瓶；雜 質 O2 N2 CO CO2 CH4 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4；含量<(ppm) 1 1 1 1 1 1000 500 500
4、二氟甲烷 ( Difluoromethane )：分子式：CH2F2 分子量：52.024；沸點：-51.65；氣體密度 (0，0.81Mpa)：21.870kg/m3；臨界溫度：78.4 臨界壓力：5.83MPa；純度：99.99%；包裝：鋼瓶；雜 質 O2 N2 CO2 H2 Acidity H2O；含量<(ppm) 10 40 5 50 0.5 30
5、鍺烷 ( Germane )：分子式：GeH4 分子量：76.62；沸點：-88.4；氣體相對密度 (Air=1)：2.63；臨界溫度：34.8 臨界壓力：5.552MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 N2 O2 THC CO2 CO+Ge3H8 H2O GeH2CH4O GeClH4；含量<(ppm) 2 0.5 1 2 1 1 5 5
6、六氟乙烷 ( Hexafluoroethane )：分子式：G2F6 分子量：138.012；熔點：-100.7 沸點：-78.2；氣體密度 (20，101.325X10-3Mpa)：5.700kg/m3；臨界溫度：19.7 臨界壓力：2.98MPa；純度：99.99%；包裝：鋼瓶；雜 質 Air CO CO2 H2O OHC THC Acidity；含量<(ppm) 30 1 1 3 50 1 0.7
7、乙硅烷 ( Disilane )：分子式：Si2H6 分子量：62.22；臨界溫度：-132.7；純度：99.8%；包裝：鋼瓶；雜 質 THC H2 有機硅 CO2 CO O2 H2O 三硅化物 SiF4 總氯；含量<(ppm) 10 100 50 1 1 1 1 1000 1000 3
8、氯化氫 ( Hydrogen Chloride )：分子式：HCl 分子量：36.461；熔點：-114.2 沸點：-85.0；氣體密度 (25，101.325X10-3Mpa)：1.500kg/m3；臨界溫度：51.4 臨界壓力：8.258MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 H2O N2 02 THC CO2 H2；含量<(ppm) 1 0.5 0.5 0.1 1 1
9、三氟化氮 ( Nitrogen Trifluoride )：分子式：NF3 分子量：71.002；熔點：-206.79 沸點：-129.0；氣體密度 (20，101.325X10-3Mpa)：2.960kg/m3；臨界溫度：-39.3 臨界壓力：4.53MPa；純度：99.99%；包裝：鋼瓶；雜 質 H2O N2 O2 CO2 CO CF4 SF6 N2O Acidity；含量<(ppm) 10 10 5 5 5 40 10 5 1
10、四氟化硅 ( Silicon Tetrafluoride )：分子式：SiF4 分子量：104.08；熔點：-95.7 沸點：-90.2；氣體密度 (20，101.325X10-3Mpa)：4.370kg/m3；臨界溫度：-14.2 臨界壓力：3.715MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 N2 O2 CO2 CO THC As,P,B；含量<(ppm) 3 1 1 0.5 10 0.5
11、六氟化硫 ( Sulfur Hexafluoride )：分子式：SF6 分子量：146.054；熔點：-50.8 沸點：-63.7；氣體密度 (0，101.325X10-3Mpa)：6.520kg/m3；臨界溫度：45.5 臨界壓力：3.769MPa；純度：99.99%；包裝：鋼瓶；雜 質 CF4 Air Acidity THC H2O；含量<(ppm) 30 30 0.5 3 5
12、六氟化鎢 ( Tungsten Hexafluoride )：分子式：WF6 分子量：297.92；熔點：2.5 沸點：17.5；氣體密度 12.7kg/m3；臨界溫度：169.8 臨界壓力：4.2658MPa；純度：99.999%；包裝：鋼瓶；雜 質 CF4 N2 O2 CO2 CO SiF2 HF SF6 Total Metals；含量<(ppm) 1 5 1 1 0.5 1 10 1 1
13、四氟化碳 ( Carbon Tetrafluoride )：分子式：CF4 分子量：88.005；熔點：-186.8 沸點：-128.0；氣體密度 (0，101.325X10-3Mpa)：3.946kg/m3；臨界溫度：-45.6 臨界壓力：3.739MPa；純度：99.99%；包裝：鋼瓶；雜 質 H2O N2 O2 C-F CO2 HF；含量<(ppm) 5 20 5 15 5 0.1
14、硅烷 ( Silane )：分子式：SiH4 分子量：32.118；熔點：-185 沸點：-111.5；氣體密度 (0，0.1Mpa)：1.420kg/m3；臨界溫度：-3.4 臨界壓力：4.843MPa；純度：99.9999%；包裝：鋼瓶；雜 質 CH4 N2 O2 CO2 CO T-Cl H2O H2 AsH3 H2S PH3；含量<(ppm) 0.1 1 0.5 0.1 0.1 0.5 0.5 50 1X10-3 1X10-3 1X10-4
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