怎樣把氯化氫氣體泄露的源頭扼殺在搖籃里？
怎樣把氯化氫氣體泄露的源頭扼殺在搖籃里？貌似是很多客戶關(guān)心的問題，可能涉及到廠家，貨運(yùn)，倉庫，經(jīng)銷商甚至是客戶。所以說哪里接手了氯化氫氣體哪里都有可能導(dǎo)致泄露。
存放—氯化氫的鋼瓶要求：
1. 氣瓶使用和檢驗遵照國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。
2. 氣瓶不得靠近火源，不得受日光曝曬，與明火距離一般應(yīng)該不小于10米，氣瓶不得撞擊。
3. 氣瓶的瓶子嚴(yán)禁沾染油脂。
4. 氣瓶內(nèi)的氣體不能全部用盡，應(yīng)該留不小于0.04MPa剩余壓力。
5. 氣瓶充氣壓力不得超過規(guī)定壓力。
6. 安全帽要隨時裝上，一保護(hù)氣閥。
操作搬運(yùn)：
操作注意事項：搬運(yùn)時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。運(yùn)輸按規(guī)定路線行駛，勿在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。倒空的容器可能有殘留的液體。
存儲：
氯化氫為不燃有毒液化氣體。儲存于陰涼、通風(fēng)的倉庫內(nèi)。倉庫內(nèi)溫度不宜超過30℃，遠(yuǎn)離火種、熱源，防止陽光直射，采用防爆照明。應(yīng)與堿類、金屬粉末、易燃或可燃物等分開存放。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和消防器材。驗收時要注意品名，注意生產(chǎn)日期，先生產(chǎn)的先發(fā)用。
最終用戶安全操作：
氯化氫氣體到達(dá)需求企業(yè)車間后的安全操作規(guī)范也同樣重要：氯化氫氣體管件在安裝時，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氯化氫氣體泄漏風(fēng)險。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氯化氫氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氯化氫氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對高純度氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身特性進(jìn)行選擇。
一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氯化氫氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）。不過在接合時要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮?dú)庖约癈DA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭?？偟膩碚f，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因為大多數(shù)的危險氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。
所以嚴(yán)防泄漏也是氯化氫需求企業(yè)重點(diǎn)關(guān)注的問題。
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